Вакуумные затворы

В отличие от вакуумных клапанов, тарель шиберного затвора перемещается перпендикулярно потоку газа, что обеспечивает его максимальную проводимость в открытом положении. Поэтому вакуумные затворы наилучшим образом подходят для оборудования, работающего в молекулярном режиме течения газа, например, для турбомолекулярных, ионногетерных и криогенных насосов.

Вакуумные затворы могут быть оснащены ручным, пневматическим или электромеханическим приводом. Затворы могут быть выполнены с сильфонным или с эластомерным уплотнением штока.